Nieuwbouw ASML, Veldhoven
ASML ontwikkelt en bouwt productiemachines voor de halfgeleider industrie en betrekt een nieuwe fabriek op haar locatie te Veldhoven. Naast de gebruikelijke bouwfysische aspecten, is bij de nieuwe fabriek ook het trillingsmilieu en de schone atmosfeer in de fabriek van essentieel belang. Met de ontwikkeling van de fijn mechanische- en halfgeleiderindustrie komt het de laatste jaren steeds vaker voor dat er binnen productielocaties trillingsarme zones gecreëerd moeten worden.
De trillingsterkte in de vloer mag zekere grenswaarden niet overschrijden om detaillering op nanometerschaal te kunnen halen. Om dit te bereiken is het van belang om de bouwlocatie vooraf te inventariseren op verstoring door externe bronnen (spoor- en wegverkeer). Hiertoe zijn trillingsmetingen in de bodem uitgevoerd. De gebouwconstructie moet voldoende ongevoelig zijn voor trillingen en er moeten maatregelen getroffen worden om de overdracht van trillingen voldoende te beperken. Hiervoor heeft DGMR Eindige Elementen Methode (EEM) studies verricht om het dynamisch gedrag van de voorgenomen constructies te kunnen bepalen.
Naast de trillingsbronnen die in de omgeving te herkennen zijn, zoals rail- en wegverkeer zijn er ook binnen een gebouw ‘bronnen’ die een bedreiging kunnen vormen. Normaliter levert een grotere afstand tussen bron en gevoelige opstelling ook een lagere bijdrage. Het zelfde effect kan ook bereikt worden door het invoegen van isolatie. Bij de EEM studie is ook de vloerconstructie beoordeeld op het effect van intern verkeer (lopen en rollend materieel). De opstelplaats voor apparaten van de diverse installaties, zoals ventilatoren, pompen en koelmachines, zijn geheel vrijgehouden van de productievloer. Ook heeft DGMR geadviseerd over de aan de apparaten te stellen trillingseisen en de hierbij behorende trillingsisolatie. Na het in bedrijf stellen, heeft DGMR ook verificatiemetingen uitgevoerd. Hierdoor kon bij overdracht geheel volgens specificatie geleverd worden.
